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1納米是一根頭發(fā)絲的8萬分之一，而小于1納米則被稱為亞納米——這是國防科大精密工程創(chuàng)新團隊在超精密光學零件加工中創(chuàng)造的“中國精度”，有力支撐了“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”等3個國家重大科技專項創(chuàng)新突破，3年來為國家創(chuàng)造直接經(jīng)濟效益2億多元。近日，該校研制兩種超精拋光裝備通過國家重大科技專項驗收。
超精密加工是以高精度為目標的先進制造技術，納米精度被譽為超精密加工技術皇冠上的明珠，西方發(fā)達國家將其視為戰(zhàn)略資源，嚴格限制出口。面對我國光學零件制造水平的窘境，國防科大精密工程創(chuàng)新團隊在李圣怡教授率領下，跳過一、二代光學零件制造加工技術，直接瞄準基于可控柔體制造的第三代光學加工方法開展攻關，在國內首次研制出擁有自主知識產(chǎn)權的磁流變、離子束兩種超精拋光裝備，創(chuàng)造了我國光學零件加工亞納米的“中國精度”奇跡，使我國光學自動化加工技術及工藝一躍進入世界先進水平，成為繼美、德之后第三個掌握高精度光學零件制造加工技術的國家，也是目前世界上唯一同時具有磁流變和離子束拋光裝備研發(fā)能力的國家。
近3年來，該團隊與中科院、中國航天科技集團、中國航空工業(yè)集團等合作，推動我國空間光學、高端裝備制造發(fā)展，自主研制出兩大類7個型號的磁流變和離子束拋光機床，為“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”“高分辨率對地觀測系統(tǒng)”等3個國家重大科技專項提供技術保障和裝備支撐，解決了一系列制約其創(chuàng)新發(fā)展的技術難題。團隊先后獲得科技部重大科技專項頒發(fā)的“突出貢獻獎”和“突出成果獎”。
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